超純水系統工藝流程

　　超純(chún)水系統總體來說一般可分爲三個(gè)部分:超純(chún)水制造區(CUB部分)、超純(chún)水抛光循環區(FAB部分)、超純(chún)水輸送管網(FAB各使用區)。

　　超純(chún)水系統(tǒng)工藝流程：

　　1、預處(chù)理→反滲透→水箱→陽床→陰床→混床→純(chún)化水箱→純(chún)水泵→紫外線殺菌器→精制混床→精密過濾器→用水對象

　　2、預處(chù)理→一級反滲透→加藥泵（PH調節）→中間水箱→二級反滲透→純(chún)化水箱→純(chún)水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象

　　3、預處(chù)理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純(chún)化水箱→純(chún)水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象

　　4、預處(chù)理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純(chún)化水箱→純(chún)水泵→紫外線殺菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象

　　超純(chún)水系統主要特點(diǎn)：

　　*該系統一切動(dòng)作均在預設程序下自動(dòng)進行，具備(bèi)全自動(dòng)功能。

　　*系統結構(gòu)布置緊湊(còu)，有效節約空間。

　　*系統(tǒng)能耗低，制水成本低廉。

　　*系統(tǒng)運行安全可靠，供水管路封閉(bì)，出水水質穩定。

　　超純(chún)水系統适用範圍：生産(chǎn)半導體、光伏太陽能、集成電路芯片及封裝
、液晶顯示、高精度線路闆、光電器件、各種電子器件等電子工業用超純(chún)水系統。